为了避免罗茨泵的误操作,一般多设有旁路溢流阀。根据对罗茨泵的特殊需要,也有将油的齿轮箱,轴承等部件与泵腔做成分离式结构的。
在罗茨泵的压缩过程中产生的热量被传到转子和泵体上。转子很难将热量传至泵外,而泵体的热量很容易被散失到周围---中。因而转子与泵体之间就出现了温差。加剧了转子的热膨胀。当泵负荷增大时,转子膨胀会消失间隙,而被卡死。因此出现了气冷式罗
茨泵,用冷却的气体或---去直接冷却热态的转子,从而减少了转子与泵壳间的温差,阿尔卡特真空泵公司,提高了罗茨泵的抗热能力。
产品用途:
由---leyss莱宝真空泵sogevac系列莱宝真空泵浦在从1000 mbar的一---压到0.08mbar的终
分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,阿尔卡特真空泵销售,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
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