对于普通的无油真空系统爱发科真空泵油来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻
爱发科真空泵油的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
普旭真空泵油的正确存放方式
真空泵要避免抽除溶剂、水蒸气和有腐蚀性气体等,用的时候一定要经常检查,经常换油。
在更换真空泵油前应该将真空泵体内用过的旧油排放干净,把新的真空泵油倒进去前应慢慢转动泵轴,清扫泵腔排完旧油,重复清洗数次,等洗净后再换入新油。
给真空泵加油的时候一定是---的设备,不能是其他真空泵油用过的容器或者溶剂。
酯油和矿物油或者其他合成油在互换时,要把真空泵拆开然后洗干净。八、要是吸入化学气体及溶剂,对真空泵油污染影响真空后,就一定要清洗换油。
苏州方欧真空科技有限公司位于苏州工业园区,注册资金500万,服务网点---华南华东,主要从事真空泵生产销售,真空泵维修保养,并提供各式真空系统的技术解决方案、安装调试、保养维修及现场服务。公司拥有一批---技术维修团队,在维修方面拥有丰富的经验,设有维修工厂及检测设备,为客户提供24小时真空泵技术支持及售后服务;
爱发科真空泵油的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,谱旭真空泵油,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
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