在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的---真空度，因为系统的---真空度决定了系统的---的工作真空度。一般来讲，系统的---真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的---真空度低50%。检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
罗茨泵与前级泵抽速之间的关系
罗茨泵的抽速与前级泵抽速之间的关系，主要取决于容积效率和罗茨泵许可的压力差。如果容积效率低，则罗茨泵机组的有效抽速将会明显下降。如果罗茨泵的压力差超过许可的很大压力差，由于压缩功将使转子过热膨胀，而会被卡死。因为泵壳易于向周围环境散热，仍然是不太热的。
罗次泵大允许压差范围在40-100hpa，在较高的压力范围（150hpa）时，允许的压力差稍高，因为被抽气体量多谢，---了转子的冷却。由于压差的增加，必将引起所需功率也要增加。
在罗茨泵的出口管道设置---的气体冷却器，这时许可的很压差可以增加，因为冷却气体的回流能保持转子的温度在规定的范围内。
在真空和高真空范围内，抽速比多采用10:1。在入口压力有较大变化或前级压力变小，则压缩比降低，故抽速比多选择5:1。
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